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不同Sn含量氧化铟锡靶材的制备及其第二相特征
作者: style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '杨硕' '26087484')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>杨硕 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '师琳璞' '28498038')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>师琳璞 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '谢斌' '33262593')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>谢斌 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '赵延飞' '33262595')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>赵延飞周海涛 
单位:中国船舶重工集团公司第七二五研究所 
关键词:氧化铟锡  靶材  腐蚀产物  第二相  第二相小颗粒  
分类号:TQ134.32
出版年,卷(期):页码:2020,48(6):863-869
DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20190542
摘要:
以气化In2O3和SnO2粉为原料,在原料体系中按照SnO2为4%(质量分数)、6%、8%和10%的比例分别与In2O3混料,使用模压辅助冷等静压(CIP)成型的方法制备出ITO(氧化铟锡)靶材坯体,并在1 550℃氧气氛条件下烧结,制得不同Sn含量的ITO靶材;将靶材试样粉碎、过筛后腐蚀,并提取腐蚀产物,对不同Sn含量靶材表面及腐蚀产物的显微组织、物相组成、密度和电阻率进行了观察和测试,并进行分析。结果表明:腐蚀产物为ITO靶材第二相In4Sn3O12;ITO靶材的晶粒尺寸随SnO2含量的增加而减小,晶界第二相总量逐渐提高并稳定在3μm以下;靶材晶内小颗粒尺寸随SnO2含量的增加而增大,并稳定在100 nm以下;靶材第二相均出现微量失氧,且失氧率均在1.1%左右;靶材的实际密度和理论密度均随SnO2含量的增加而提高,其中,实测密度由7.110 g/cm3提高至7.145 g/cm3;靶材电阻率随SnO2含量的增加而提高,由1.3×10–4?·cm提高至约1.9×10–4?·cm。
基金项目:
国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029);
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