高分子辅助沉积法制备钨掺杂的二氧化钒薄膜

作者： style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '罗盛鲜' '42663478')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>罗盛鲜 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '高敏' '28761075')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>高敏 class=icon-email style="HEIGHT: 9px  WIDTH: 14px  BACKGROUND: url(../images/icon-email.png) no-repeat  PADDING-BOTTOM: 0px  FONT-STYLE: normal  PADDING-TOP: 0px  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  DISPLAY: inline-block  PADDING-RIGHT: 0px"> style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'> onclick="                            TurnPageToKnet('au' '陈思宏' '30568715')                           " style='CURSOR: pointer  TEXT-DECORATION: none  COLOR: rgb(102 102 102)  OUTLINE-WIDTH: medium  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  OUTLINE-STYLE: none  PADDING-LEFT: 0px  MARGIN: 0px  OUTLINE-COLOR: invert  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: transparent  font-stretch: normal'>陈思宏 style='WHITE-SPACE: normal  WORD-SPACING: 0px  POSITION: relative  TEXT-TRANSFORM: none  COLOR: rgb(124 124 124)  PADDING-BOTTOM: 0px  TEXT-ALIGN: center  PADDING-TOP: 0px  FONT: 14px/1.4 Arial  "Microsoft Yahei"  宋体  PADDING-LEFT: 0px  ORPHANS: 2  WIDOWS: 2  MARGIN: 0px 0.5em  LETTER-SPACING: normal  PADDING-RIGHT: 0px  BACKGROUND-COLOR: rgb(255 255 255)  TEXT-INDENT: 0px  -webkit-text-stroke-width: 0px  font-stretch: normal'>林媛

单位：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

关键词：二氧化钒  薄膜  掺杂  相变温度  热滞回线

分类号：TQ135.11;TB383.2

出版年,卷(期):页码：2020,48(7):1074-1080

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2020.07.20200017

摘要：

利用高分子辅助沉积法（PAD）制备出钨掺杂二氧化钒（VO2）薄膜。采用X射线衍射、光电子能谱、扫描电子显微镜、Raman光谱等表征技术对不同含量钨掺杂的VO2薄膜性能进行了研究。结果表明:利用PAD方法制备的VO2薄膜质量较好,且钨离子掺杂成功。同时Raman光谱显示,钨掺杂1.0%（摩尔分数）的薄膜在相变过程中出现M2相。电学测试结果显示,钨掺杂的VO2薄膜相变温度大幅下降,每掺杂0.3%（摩尔分数）的钨离子,相变温度下降10℃,且随着钨掺量的增加,VO2薄膜的热滞回线宽度减小。

基金项目：

国家自然科学基金(51872038,61825102)； “111”项目(B18011)；

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参考文献：

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