结构优化的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3薄膜介电性能

作者：李润润1 李月明1 闫朝一1 包亦望2 孙华君3 胡灏溔4 李宁益4

单位：1. 景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院 江西 景德镇333001 2. 中国建筑材料科学研究总院 绿色建筑材料国家

关键词：薄膜 异质界面 微观结构 介电性能

分类号：TQ174

出版年,卷(期):页码：2021,49(1):174-180

DOI：

摘要：

采用Pechini方法，在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上沉积了均质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3 (CMT), CaTiO3 (CT)和堆叠次序不同以及摩尔比不同的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3 (CMT/CT)薄膜。结果表明：以CT为底层的异质CMT/CT薄膜可以形成单一的钙钛矿结构，以CMT为底层的异质薄膜则有杂相产生。对于以CT为底层的不同摩尔比的异质CMT/CT薄膜，随着CMT含量的增加，异质薄膜中CT的衍射峰逐渐减小至消失，而CMT的结晶度变得更强，这说明以CT为缓冲层将有助于上层的CMT形成钙钛矿相。介电性能研究表明：异质CMT/CT薄膜的介电常数高度依赖于CMT的含量，而介电损耗不但与CMT含量有关，还与异质薄膜中界面数有关。当n(CMT):n(CT)=1:1 (摩尔比)时，异质的CMT/CT薄膜的介电常数和损耗分别为56和0.038。

基金项目：

：国家自然科学基金(51472227)；江西省教育厅科技项目(GJJ170800)；景德镇科技局项目(2017GYZD019-014)；江西省科技厅计划项目(20192BBHL80007)；绿色建筑材料国家重点实验室开放基金，景德镇陶瓷大学博士科研启动基金。

作者简介：

参考文献：

服务与反馈：

【文章下载】【加入收藏】