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结构优化的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3薄膜介电性能
作者:李润润1 李月明1 闫朝一1 包亦望2 孙华君3 胡灏溔4 李宁益4 
单位:1. 景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院 江西 景德镇333001 2. 中国建筑材料科学研究总院 绿色建筑材料国家 
关键词:薄膜 异质界面 微观结构 介电性能 
分类号:TQ174
出版年,卷(期):页码:2021,49(1):174-180
DOI:
摘要:
采用Pechini方法,在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上沉积了均质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3 (CMT), CaTiO3 (CT)和堆叠次序不同以及摩尔比不同的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3 (CMT/CT)薄膜。结果表明:以CT为底层的异质CMT/CT薄膜可以形成单一的钙钛矿结构,以CMT为底层的异质薄膜则有杂相产生。对于以CT为底层的不同摩尔比的异质CMT/CT薄膜,随着CMT含量的增加,异质薄膜中CT的衍射峰逐渐减小至消失,而CMT的结晶度变得更强,这说明以CT为缓冲层将有助于上层的CMT形成钙钛矿相。介电性能研究表明:异质CMT/CT薄膜的介电常数高度依赖于CMT的含量,而介电损耗不但与CMT含量有关,还与异质薄膜中界面数有关。当n(CMT):n(CT)=1:1 (摩尔比)时,异质的CMT/CT薄膜的介电常数和损耗分别为56和0.038。
基金项目:
:国家自然科学基金(51472227);江西省教育厅科技项目(GJJ170800);景德镇科技局项目(2017GYZD019-014);江西省科技厅计划项目(20192BBHL80007);绿色建筑材料国家重点实验室开放基金,景德镇陶瓷大学博士科研启动基金。
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