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基于纳米压痕的氧化镓不同晶面的蠕变特性
作者: 海1 徐亚萌1 韦嘉辉1 2 沈军州1 冯晓雯1 
单位:1. 盐城工学院机械工程学院 2. 江苏大学机械工程学院 
关键词:氧化镓 纳米压痕 蠕变特性 蠕变应力指数 
分类号:
出版年,卷(期):页码:2021,49(3):557-564
DOI:
摘要:
使用Berkovich压头,采用恒载荷法对氧化镓的(100)及(010)晶面进行纳米压痕试验,通过数据拟合获得氧化镓晶体的蠕变应力指数。单晶氧化镓(100)晶面的蠕变应力指数范围在15.5~27.8,(010)晶面的蠕变应力指数范围在46.1~63.4。纳米压痕法能够有效测量氧化镓的蠕变变形量;氧化镓的2个晶面均呈现了初始蠕变和稳态蠕变2个阶段,其中,(100)晶面具有较明显的初始蠕变阶段和稳态蠕变阶段,但是(010)晶面的初始蠕变阶段不明显;保载载荷与氧化镓的蠕变位移、等效压痕应力呈正相关,对蠕变应力指数没有明显影响;氧化镓不同晶面的蠕变应力指数差异很大,(010)晶面较(100)晶面具有更大的蠕变应力指数,具有更强的抗蠕变性能,更适合精密机械加工。
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