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Pt/Na0.5Bi0.5TiO3/La0.5Sr0.5CoO3电容器的结构和铁电疲劳特性
作者:丁逸 范佳荫 郭靖 赵向阳 顾春鹏 田寅帆 赵建业 董磊 宋建民 
单位:河北农业大学理学院 
关键词:钛酸铋钠薄膜 异质结 铁电存储 疲劳特性  
分类号:
出版年,卷(期):页码:2021,49(10):2189-2194
DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20210021
摘要:
采用偏轴磁控溅射法,以单晶钛酸锶(001)Sr TiO3(STO)为衬底,不同沉积温度下外延生长了La0.5Sr0.5Co O3(LSCO)氧化物底电极。X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)结构表征以及四探针方阻测试结果表明:LSCO薄膜外延(00l)取向最优温度沉积条件为550℃。此外,利用脉冲激光沉积法,以LSCO/STO异质结为模板,构架了Pt/Na0.5Bi0.5TiO3 (NBT)/LSCO/STO铁电电容器。XRD和AFM结构表征表明:NBT薄膜为(00l)外延结构。电流密度-电压测试曲线结果表明,室温变为70℃时,Pt/NBT/LSCO异质结漏电流密度有所增加,但未改变导电机制:低压下为欧姆导电和高压下为陷阱的空间电荷限制电流导电。在5 V驱动电压下,室温和70℃时,Pt/NBT/LSCO电容器具有饱和的电滞回线和保持特性,且经过1010翻转后,均未产生疲劳。
基金项目:
河北农业大学理工基金(LG201611);河北农业大学自主培养博士科研启动经费(PY201809);河北农业大学大学生创新创业训练计划基金(S202010086026,2020104,2020259);
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