基于硫系玻璃的微纳光子器件研究进展

作者：菅佳玲 叶羽婷 李钧颖 施依琳 孙春雷 马辉 吴江宏 罗邺 林宏焘 李兰

单位：1.西湖大学工学院浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室2.浙江西湖高等研究院前沿技术研究所3.浙江大学信息与电子工程学院

关键词：硫系玻璃  微纳光子器件  集成光学  中红外传感  相变材料  柔性光子

分类号：

出版年,卷(期):页码：2021,49(12):2676-2690

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.20210143

摘要：

硫系玻璃由于具有较高的折射率、宽的红外波段透明窗口、较低的非线性损耗和较快的非线性响应,在光学器件领域具有巨大的应用潜力。随着近年来微纳器件加工技术的进步,基于硫系玻璃制备的新型微纳光子器件,在通信、安全、医疗、环境等领域得到了广泛的应用。本工作从硫系玻璃的物理光学性质出发,就硫系玻璃的薄膜制备工艺、微纳器件加工方法、光学器件应用及发展前景分别展开论述。

基金项目：

国家自然科学基金(62175202,12104375,91950204)； 西湖大学启动基金；

作者简介：

参考文献：

服务与反馈：

【文章下载】【加入收藏】