微波等离子体化学气相沉积法合成高导热金刚石材料及器件应用进展

作者：赵继文 郝晓斌 赵柯臣 李一村 张森 刘康 代兵 郭怀新 韩杰才 朱嘉琦

单位：1.哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室2.南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室3.哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室

关键词：金刚石  微波等离子体化学气相沉积  散热  氮化镓器件

分类号：

出版年,卷(期):页码：2022,50(7):1852-1864

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.20220073

摘要：

随着第3代半导体的应用，电子器件向高功率、小型化发展，由此带来的“热”问题逐渐凸显，金刚石由于其超高的热导率及稳定的性质，被认为是最优的散热材料之一。简要介绍了微波等离子体化学气相沉积装备的原理及发展历程，对比分析了不同种类生长设备的差异，对单晶、多晶及纳米晶金刚石在器件散热应用中的现状进行总结，结合第3代半导体总结了金刚石增强散热产业化过程中将面临的性能与尺寸方面的瓶颈问题及金刚石材料“大、纯、快”的发展方向，并对散热应用的未来研究方向做出展望。

基金项目：

国家重点研发计划(2020YFA0709700)； 国家自然科学基金面上项目(52072087)； 广东省重点领域研发计划(2020B010169002)；

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参考文献：

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